发明名称 Hard coating film and target for formation thereof
摘要
申请公布号 EP2116628(B1) 申请公布日期 2013.10.02
申请号 EP20090003302 申请日期 2009.03.06
申请人 KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.) 发明人 YAMAMOTO, KENJI;FOX-RABINOVICH, GERMAN
分类号 C23C14/06;B23C5/10;C23C30/00 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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