一种真空设备用动密封装置

摘要

本实用新型提供了一种真空设备用动密封装置，主要包括外壳、轴承、与不导磁壳体配合安装的端盖、传动轴、极靴、磁流体、拨盘及连接座等。该装置通过传动轴将来自真空腔体外的减速器的运动传到真空腔体内，并通过拨盘实现所要的执行运动。工作时在极靴产生的磁场作用下，把放置在轴与外壳缝隙间的磁流体加以集中，使其形成一个所谓“O型密封圈”，将缝隙通道堵死而达到动密封的目的。本实用新型采用磁流体密封技术，具有工作可靠性高、极限真空度高、零泄漏的优点。

主权项

一种真空设备用动密封装置，包括外壳(1)、轴承(2)、与所述壳体配合安装的端盖(3)、传动轴(4)、极靴(5)、磁流体(6)，其特征在于：所述外壳(1)为不导磁材料。