| 摘要 |
<p>Beschleunigungssensor mit: einem Substrat (SB); einem auf dem Substrat ausgebildeten Fühlerelement; einem auf Odem Substrat ausgebildeten Binderahmen (FD), wobei der Binderahmen das Fühlerelement in Draufsicht umgibt; und einer Kappe (CA), die eine Endfläche beinhaltet, die mit einer oberen Oberfläche des Binderahmens verbunden ist, sodass das Fühlerelement oberhalb des Fühlerelements bedeckt ist, und dabei um einen vorbestimmten Abstand von dem Fühlerelement beabstandet ist, einer auf einer Oberfläche der Kappe, die dem Fühlerelement zugewandt ist, ausgebildeten Metallschicht (10), wobei ein Abschnitt der Metallschicht mit dem Binderahmen verbunden ist; einem auf dem Substrat gebildeten ersten Feld (PD1a, PD1b, PD1d), wobei das erste Feld über eine erste Verbindungsleitung (LNa, LNb, LNd) elektrisch mit dem Fühlerelement verbunden ist; einem elektrisch mit dem Substrat verbundenen zweiten Feld (PD1e); und einem auf dem Substrat ausgebildeten dritten Feld (PD1f), wobei das dritte Feld über eine zweite Verbindungsleitung (LNf) elektrisch mit dem Polysiliziumbinderahmen verbunden ist, wobei der Binderahmen beinhaltet: eine mit einer Dotierung dotierte erste Polysiliziumschicht (FD1); eine auf der ersten Polysiliziumschicht ausgebildete Isolierschicht (FD2); und eine auf der Isolierschicht ausgebildete zweite Polysiliziumschicht (FD3), wobei die zweite Polysiliziumschicht mit keiner Dotierung dotiert ist, und die Kappe mit der zweiten Polysiliziumschicht verbunden ist.</p> |
