高效率、低成本、大面积图形化蓝宝石衬底的制备方法

摘要

本发明提供一种高效率、低成本、大面积图形化蓝宝石衬底的制备方法，包括如下几个步骤：步骤A:在光栅结构图形硬模板上旋涂甲苯稀释的PDMS；步骤B:在甲苯稀释的PDMS上涂覆PDMS预聚物;步骤C:脱模，获得PDMS软压印模板；步骤D:在蓝宝石基片的一个面上磁控溅射金属铝膜；步骤E:脱模，获得紫外固化胶图形;步骤F:以金属铝膜上图形化紫外固化胶为掩膜；步骤G:进行低温热处理，使图形化金属铝膜充分氧化成为图形化多晶Al2O3膜;步骤H:将得到的图形化多晶Al2O3膜进行高温热处理，即得到图形化蓝宝石衬底。本发明获得的用于氮化物外延生长的图形化蓝宝石衬底，工艺简单易行，生产效率高，成本低，面积大。

主权项

一种高效率、低成本、大面积图形化蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于，包括如下几个步骤：步骤A: 在光栅结构图形硬模板上旋涂甲苯稀释的PDMS；步骤B: 在甲苯稀释的PDMS上涂覆PDMS预聚物，将80μm至120μm的PDMS板压在PDMS预聚物表面，接着进行加热固化;步骤C: 脱模，获得PDMS软压印模板；步骤D:在蓝宝石基片的一个面上磁控溅射金属铝膜,接着在金属铝膜上施涂紫外固化胶，烘干，然后采用PDMS软压印模板对紫外固化胶进行紫外纳米软压印；步骤E: 脱模，获得紫外固化胶图形;步骤F: 以金属铝膜上图形化紫外固化胶为掩膜，采用反应离子刻蚀金属铝膜和去胶，在蓝宝石基片上获得金属铝膜光栅结构的图形化金属铝膜；步骤G:进行低温热处理，使图形化金属铝膜充分氧化成为图形化多晶Al2O3膜;步骤H:将得到的图形化多晶Al2O3膜进行高温热处理，使图形化多晶Al2O3膜完全转化为图形化单晶Al2O3膜，即得到图形化蓝宝石衬底。