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发明名称 Method of protecting a radiation detector in a charged particle instrument
摘要
申请公布号 EP2509098(B1) 申请公布日期 2013.10.02
申请号 EP20120163264 申请日期 2012.04.05
申请人 FEI COMPANY 发明人 OTTEN, MAX;VAN HOFTEN, GERALD;LOF, JOERI
分类号 H01J37/26;H01J37/244;H01J37/302 主分类号 H01J37/26
代理机构 代理人
主权项
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