一种基于结构自激振动原理的微机电谐振器

摘要

一种基于结构自激振动原理的微机电谐振器，包括：一个绝缘支撑基座，该绝缘支撑基座不与任何电极相连，也不接地，即电势浮动；一个导电微梁，该导电微梁的一端固定在上述绝缘支撑基座上，另一端为水平悬空状；两个直流驱动电极，置于导电微梁两侧，其中一个直流驱动电极接入直流正电压，另一个直流驱动电极接入直流负电压，两直流驱动电极之间保持一定的间距；一个衬底，所述的绝缘支撑基座和直流驱动电极均固定在该衬底上。本发明舍弃了传统谐振器所必需的复杂交流驱动/检测电路，并消除了结构失稳带来的短路风险，在简化结构的同时，大大提高了谐振幅值。

主权项

一种基于结构自激振动原理的微机电谐振器，其特征在于包括：一个绝缘支撑基座，该绝缘支撑基座不与任何电极相连，也不接地，即电势浮动；一个导电微梁，该导电微梁的一端固定在上述绝缘支撑基座上，另一端为水平悬空状；两个直流驱动电极，置于导电微梁两侧，其中一个直流驱动电极接入直流正电压，另一个直流驱动电极接入直流负电压，两直流驱动电极之间保持一定的间距；一个衬底，所述的绝缘支撑基座和直流驱动电极均固定在该衬底上。