一种改善PVD镀膜机镀膜均匀性的屏蔽罩

摘要

本实用新型创造涉及一种磁控溅射镀膜机平面靶的屏蔽罩带气流挡板，用来改善镀膜均匀性，属于薄膜太阳能电池技术领域，目的是提供一种PVD镀膜机用的能够改善镀膜均匀性的屏蔽罩装置和屏蔽方法，以求改善镀膜均匀性提高薄膜太阳能电池的转换效率。本实用新型创造的技术特征屏蔽罩（10）有保护气管（9）上气流小孔气的气流挡板（11）使气流充分混合的疏流装置。方法是用屏蔽罩（10）上带有气流挡板（11），其间有一小长狭缝，用气流挡板（11）合围气管（9）保护其上的小孔不被轰击。本实用新型创造显著的改善了膜层的均匀性和镀膜质量。提高了镀膜机的镀膜质量。

主权项

一种改善PVD镀膜机镀膜均匀性的屏蔽罩，包括真空腔体，平面靶及基片，其特征在于屏蔽罩（10）上一气流档板(11),该气流挡板（11）安装在屏蔽罩（10）内的开口处遮挡通气的气管（9）上出气的小孔。