Behandlungsflüssigkeit zur Hemmung eines Musterzusammenbruchs in einer Mirkostruktur und Verfahren zur Herstellung einer Mikrostruktur, bei der diese eingesetzt wird

摘要

Die Aufgaben der vorliegenden Erfindung sind die Bereitstellung einer Behandlungsflüssigkeit, die einen Musterzusammenbruch in einer Mikrostruktur, wie z. B. einer Halbleitervorrichtung oder einer Mikromaschine hemmen kann, sowie die Bereitstellung eines Verfahrens zur Herstellung einer Mikrostruktur, bei der diese verwendet wird. Das Mittel zum Lösen der Probleme besteht darin, eine Mikrostruktur mit einer Behandlungsflüssigkeit zur Hemmung eines Musterzusammenbruchs in einer Metall-Mikrostruktur zu behandeln, die eine Alkylphosphonsäure oder ein Salz davon, in welcher der Alkylrest 6 bis 18 Kohlenstoffatome enthält, Wasser und ein wasserlösliches Lösungsmittel umfasst.