一种多晶硅尾气中氯硅烷循环利用系统

摘要

本实用新型涉及一种多晶硅尾气中氯硅烷循环利用系统，包括CDI冷凝系统换热器（1）、氯硅烷液体缓冲罐（2）、泵（3）、氯化氢和氢气气体压缩机（4）、吸收塔（5）、换热器（6）、解析塔（7），本系统将解析塔（7）输出的高温氯硅烷液体和氯硅烷液体缓冲罐（2）输出的低温氯硅烷液体利用换热器（6）进行热交换，既降低了生产成本、简化了生产工艺，又达到了节能降耗的目的，因此该系统具有广阔的市场前景。

主权项

一种多晶硅尾气中氯硅烷循环利用系统，包括CDI冷凝系统换热器（1）、氯硅烷液体缓冲罐（2）、泵（3）、氯化氢和氢气气体压缩机（4）、吸收塔（5）、换热器（6）、解析塔（7），所述CDI冷凝系统换热器（1）连接氯硅烷液体缓冲罐（2）和氯化氢和氢气气体压缩机（4），所述氯化氢和氢气气体压缩机（4）与吸收塔（5）相连，所述氯硅烷液体缓冲罐（2）与泵（3）相连，所述吸收塔（5）通过低温氯硅烷液体输送管一（8）与换热器（6）相连，所述换热器（6）通过高温氯硅烷液体输送管一（9）和解析塔（7）相连，所述解析塔（7）通过高温氯硅烷液体输送管二（10）与换热器（6）相连，所述换热器（6）通过低温氯硅烷液体输送管二（11）与吸收塔（5）相连，其特征在于：所述泵（3）通过低温氯硅烷液体输送管三（12）与换热器（6）相连。