| 摘要 |
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von photovoltaischen Dünnschichtsolarmodulen, umfassend die Schritte: – Zurverfügungstellung eines, insbesondere flächigen, Substrats, – Aufbringen mindestens einer Rückelektrodenschicht auf dem Substrat, – Aufbringen mindestens einer leitfähigen Barriereschicht, – Aufbringen mindestens einer, insbesondere Ohm'schen, Kontaktschicht, – Aufbringen mindestens einer, insbesondere Kesterit- oder Chalkopyrit-, Halbleiterabsorberschicht, – gegebenenfalls Aufbringen mindestens einer ersten Pufferschicht, – gegebenenfalls Aufbringen mindestens einer zweiten Pufferschicht, – einen ersten Strukturierungsschritt, umfassend Entfernen der aufgebrachten Schichten entlang voneinander beabstandeter Linien mittels Laserbehandlung (erste Laserbehandlung) unter Ausbildung erster Trenngräben, welche benachbarte Solarzellen trennen, – Füllen der ersten Trenngräben mit mindestens einem isolierenden Material, – einen zweiten Strukturierungsschritt, umfassend – Entfernen derjenigen Schichten, die sich von der Barriereschicht in Richtung der Halbleiterabsorberschicht oder Pufferschicht(en) erstrecken, entlang voneinander beabstandeter Linien, unter Ausbildung zweiter Trenngräben, welche zu korrespondierenden ersten Trenngräben benachbart sind oder an diese angrenzen, insbesondere parallel zu diesen verlaufen, oder – chemische Phasenumwandlung oder thermischer Zersetzung derjenigen Schichten, die sich von der Barriereschicht in Richtung der Halbleiterabsorberschicht oder Pufferschicht(en) erstrecken, entlang voneinander beabstandeter Linien unter Ausbildung erster linienförmiger leitfähiger Bereiche, – Aufbringen mindestens einer transparenten Frontelektrodenschicht unter Verfüllung und Kontaktierung der zweiten Trenngräben oder unter Kontaktierung der ersten linienförmigen leitfähigen Bereiche, so dass benachbarte Solarzellen serienverschaltet werden, und – mindestens einen dritten Strukturierungsschritt, umfassend Entfernen der Schichten, die sich von der Barriereschicht in Richtung der mindestens einen Frontelektrodenschicht erstrecken entlang voneinander beabstandeter Linien unter Ausbildung dritter Trenngräben, welche zu korrespondierenden zweiten Trenngräben benachbart sind oder an diese angrenzen, insbesondere parallel zu diesen verlaufen. Die Erfindung betrifft des Weiteren die nach dem erfindungsgemäßen Verfahren erhaltenen photovoltaischen Dünnschichtsolarmodule. |
