Verfahren zur Ermittlung von Strahlparametern eines Ladungsträgerstrahls, Messeinrichtung sowie Ladungsträgerstrahlvorrichtung

摘要

Es wird ein Verfahren zur Ermittlung von Strahlparametern eines Ladungsträgerstrahls (4) vorgestellt, bei dem a) der Ladungsträgerstrahl (4) einer Ladungsträgerstrahlvorrichtung (1) mittels einer Strahlablenkeinheit (3) über eine in einer Blendenvorrichtung (7) vorgesehene Schlitzblendenanordnung mit einer oder mehreren Schlitzblenden (8) geführt wird, b) mittels eines eine Messebene (10) definierenden Strahlsensors (6) Messebenen-Koordinaten von Strahlauftrefforten von durch die Schlitzblendenanordnung hindurch getretenen Strahlanteilen erfasst werden, c) eine in der Blendenvorrichtung (7) angeordnete Messblende (9) automatisch in eine Position über einem in der Messebene (10) gegebenen Messreferenzpunkt verfahren wird, wobei auf der Grundlage der bekannten geometrischen Anordnung der Schlitzblende(n) (8) sowie der Messblende (9) auf der Blendenvorrichtung (7) zur Ermittlung von Steuerungsdaten für das Verfahren der Messblende (9) die Messebenen-Koordinaten der Strahlauftrefforte verarbeitet werden, und d) der Ladungsträgerstrahl (4) zur Strahlparametermessung über die gemäß Merkmal c) verfahrene Messblende (9) geführt wird. Bei einer für das Verfahren geeigneten Messeinrichtung (5) weist die Schlitzblendenanordnung mindestens zwei zueinander nicht parallele Schlitzblendenabschnitte (12, 13, 15, 16) auf, die zu einer einzelnen durchgehenden Schlitzblende (8) gehören können.