| 摘要 |
本发明提供一种可于短时间内熔融矽原料、且可藉由不透明石英玻璃层随时间经过之状态变化而提高矽单晶之制造良率的石英玻璃坩埚。本发明之石英玻璃坩埚包括：具有包含大量气泡之不透明石英玻璃层11之外层、及具有实质上不含气泡之透明石英玻璃层12之内层。不透明石英玻璃层11中所含气泡之直径分布为：具有10~30μm之直径之气泡为10%以上且未满30%，具有40~90μm之直径之气泡为40%以上且未满80%，具有90μm以上之直径之气泡为10%以上且未满30%。不透明石英玻璃层11中所含之相对较小之气泡自拉引步骤之初期阶段起即有助于坩埚之传热性，不透明石英玻璃层11中所含之相对较大之气泡藉由经过长时间之拉引步骤而膨胀，于拉引步骤之后半期非常有助于坩埚之保温性。 |
