探针卡

摘要

本发明系提供一种探针卡，包括：一金属薄膜；一填充材料层，形成于金属薄膜之上，具有复数个开口；一第一导电层，形成于复数个开口之中；一第一介电层，形成于填充材料层之上；一第二导电层，耦合第一导电层；一第二介电层，形成于第一导电层及金属薄膜之下；一重布层，形成于第二介电层之下，耦合第一导电层；一保护层，形成于重布层之下；以及一金属垫层，形成于保护层之上，耦合重布层。