阻层移除液组成物以及移除阻层之方法

摘要

本发明提供一种阻层移除液组成物，包含：(A)无机硷，以该阻层移除液组成物的总重量为基准，该无机硷的含量为0.5至5 wt%；(B)极性溶剂，以该阻层移除液组成物的总重量为基准，该极性溶剂的含量为5至70 wt%；以及(C)经取代之醇，以该阻层移除液组成物的总重量为基准，该经取代之醇的含量为25至94 wt%。藉由本发明组成物之组成及配比可有效地移除阻层，并能防止金属的氧化及聚亚醯胺的溶解。本发明复提供一种利用上述组成物移除阻层之方法。