用于薄膜电容制造之溶凝胶与遮罩图案化，所制造之薄膜电容，及包含该电容的系统

摘要

一种形成薄膜电容的制程，包含：溶凝胶图案化在第一电极上之介电薄膜；剥离移除不要之介电薄膜；及将该介电薄膜配合至第二电极。该薄膜电容沿着为其特征尺寸所界定的线，展现实质均匀之热变介面形态。也揭示一计算系统，其包含该薄膜电容。