用于遮蔽弧灯之一部份之盖、弧灯、及微影装置

摘要

本发明揭示一种用以自电磁辐射遮蔽弧灯之一部份之罩。该罩具有一由一适合于反射该电磁辐射之反射材料所形成的反射表面。