晶圆硏磨机

摘要

一种晶圆研磨机，可对晶圆进行研磨，并包含一个机台，该机台包括一个升降机构，以及一个用来载送该晶圆并可相对于该升降机构移动的载送机构，该晶圆研磨机还包含一个安装在该机台之升降机构上并包括一个研磨轮的研磨机构，以及一个安装在该机台上的研磨侦测件，该研磨侦测件包括一个可和该研磨轮抵靠并侦测该研磨轮外径变化的侦测头。在设计上，该研磨机构亦可被固定，而该研磨侦测件安装在该载送机构上并可升降。通过该研磨侦测件来侦测该研磨轮的外径变化，可微调该研磨轮或者该载送机构的高度，使该研磨轮精准地压靠在该晶圆上并研磨，以提高研磨时的均一性及研磨品质。