电浆处理装置、执行其清理方法之电浆装置及记忆执行其清理方法之程式的记忆媒体

摘要

本发明系一种在可抽成真空之处理容器32内对被处理体W使用电浆实施电浆处理之电浆处理装置之清理方法，其特征在于包括：将清理气体供给于处理容器内并产生电浆，使处理容器内维持在第1压力进行清理之第1清理步骤，以及将清理气体供给于处理容器内并产生电浆，使处理容器内维持在比第1压力高之第2压力进行清理之第2清理步骤。藉此，可不对处理容器之内壁面及处理容器内之构件带来损伤，而有效且迅速地进行清理。