被测试装置电路、积体电路以及半导体晶圆制程监视电路

摘要

发明揭露一种数位制程监视的电路及方法。揭露对应具有制程相关特性的装置比较电流或电压对电流或电压的电路，转换正比于制程相关电路特性的电流或电压测量为数位信号以及输出数位信号作为监控。制程相关电路特性可能选自电晶体临界电压、电晶体饱和电流以及温度相关数量。使用数位技术例如数位滤波以及数位信号处理实施校正。数位制程监视电路可能成为用于晶圆特性描述的切割道电路或放置于积体电路晶片中作为巨集。制程监控电路可能使用探测垫或扫描测试电路存取。揭露使用数位输出监控制程特性的方法。