摘要 |
〔课题〕伴随近年来的探针卡4的大型化,大重量重化为其重量为15~25Kg,例如,作业员等从搬运台车将探针卡举起而移载设置于卡搬运装置时,需要大的力量之外,在举起探针卡4时,可抓取部分受到限制,处理上需要很慎重,会对作业员造成太大的负担。;〔解决手段〕本发明之探针卡移载补助装置55,系具备:保持探针卡51之保持件551、及持前端部安装有此保持件551之可以伸缩的手臂552、及支撑此手臂552之可以自由旋转的支撑体553、及介由此支撑体553可以依重量别地使探针卡51升降之升降驱动装置554。 |