发明名称 探针卡移载补助装置,检测设备及检测方法
摘要 〔课题〕伴随近年来的探针卡4的大型化,大重量重化为其重量为15~25Kg,例如,作业员等从搬运台车将探针卡举起而移载设置于卡搬运装置时,需要大的力量之外,在举起探针卡4时,可抓取部分受到限制,处理上需要很慎重,会对作业员造成太大的负担。;〔解决手段〕本发明之探针卡移载补助装置55,系具备:保持探针卡51之保持件551、及持前端部安装有此保持件551之可以伸缩的手臂552、及支撑此手臂552之可以自由旋转的支撑体553、及介由此支撑体553可以依重量别地使探针卡51升降之升降驱动装置554。
申请公布号 TWI410632 申请公布日期 2013.10.01
申请号 TW095134833 申请日期 2006.09.20
申请人 东京威力科创股份有限公司 日本 发明人 长坂旨俊;望月智秋
分类号 G01R1/02;H01L21/66;G01R31/26 主分类号 G01R1/02
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本