发光二极体晶片之制造方法

摘要

一种发光二极体晶片之制造方法。此方法包含下列步骤。提供具有相对之第一与第二表面的基板。利用雷射在基板之第一表面中形成数个切割道，其中切割道中包含雷射残余物。清除雷射残余物。形成发光磊晶结构于基板之切割道以外之第一表面上。发光磊晶结构包含第一电性半导体层、发光层与第二电性半导体层。形成透明导电层于第二电性半导体层上。形成第一电极与第二电极分别位于第一与第二电性半导体层上。施加外力于基板之第二表面上，以沿着切割道分割基板，而形成数个发光二极体晶片。