包含氧化钽层之方法、结构与装置

摘要

本发明揭示一种包含邻近于氮化铌的氧化钽层之方法、结构与装置。在某些具体实施例中，氮化铌系结晶的并且具有六方最密堆积结构。视需要，该氮化铌可具有包含邻近于其至少一部分的氧化铌之表面。在某些具体实施例中，氧化钽层系结晶学纹理化的并具有六边形结构。