发明名称 透射电镜微栅的制备方法
摘要 本发明涉及一种透射电镜微栅的制备方法,包括以下步骤:提供一片状奈米碳管结构;对所述片状奈米碳管结构进行雷射打孔以形成复数个电子透射部;以及按预定尺寸切割所述具有电子透射部的片状奈米碳管结构,形成所述透射电镜微栅。
申请公布号 TWI411005 申请公布日期 2013.10.01
申请号 TW099110667 申请日期 2010.04.07
申请人 北京富纳特创新科技有限公司 中国 发明人 潜力;范立;刘亮;冯辰;王昱权
分类号 H01J9/00;H01J37/26;H01J37/02;B82B1/00 主分类号 H01J9/00
代理机构 代理人 虞彪 台北市中山区长安东路1段21号3楼
主权项
地址 中国