发明名称 混生气体生成设备
摘要 本创作提供一种混生气体生成设备,包括:第一通道,其用于输入第一气体源;第二通道,其用于输入第二气体源;所述第一通道与第二通道作为输入通道均与作为输出通道的第三通道相连接,所述第一气体源与第二气体源通过所述第三通道混合为第三气体后输出;其特征在于,所述第一通道上设置有第一限装置,所述第一限流装置可以被调整为与所述第一通道内所需要流过的第一气体源的压力相适应;所述第二通道上设置有第二限流装置,所述第二限流装置可以被调整为与所述第二通道内所需要流过的第二气体源的压力相适应,本创作使得气体输出通道的压力可根据手套箱或其他输出端所需要的压力而设置,与知设备相比较,可实现同样效果且成本低。
申请公布号 TWM462748 申请公布日期 2013.10.01
申请号 TW101215735 申请日期 2012.08.15
申请人 中微半导体设备(上海)有限公司 中国 发明人 魏强
分类号 C23C14/00 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人 林志青 台北市信义区松隆路102号18楼之1
主权项
地址 中国