| 摘要 |
Предложен осажденный слой и способ получения осажденного слоя на поверхности кремниевой подложки. Осажденный слой включает оксид алюминия, и способ включает в любой последовательности чередующиеся стадии: а) введения в реакционное пространство одного вещества из воды и озона в качестве предшественника кислорода, б) введения в реакционное пространство другого вещества из воды и озона в качестве предшественника кислорода, в) введения в реакционное пространство предшественника алюминия и последующей продувки реакционного пространства при обеспечении того, что когда стадия а) или стадия б) предшествует стадии в), тогда реакционное пространство продувают перед стадией в), и реакционное пространство не продувают между стадией а) и стадией б), когда стадия а) предшествует стадии б) или когда стадия б) предшествует стадии а). |
