| 摘要 |
<p>Bei Schwingkörpern, die in einem Verfahren zur Serienherstellung von piezoelektrischen Schwingkörpern nach der Erfindung hergestellt werden, wird die Frequenz exakt, leicht und effizient eingestellt, ohne dass dieser Vorgang von der Grösse des Schwingkörpers beeinflusst wird, und die Wartung der Schwingkörper ist weniger kostspielig. In den Schwingkörpern befinden sich eine piezoelektrische Platte (11), ein Paar Erregerelektroden (12, 13) und ein Paar Anschlusselektroden (15, 16). Im Verfahren wird ein Wafer verwendet, auf dem zunächst der Rahmen mehrerer piezoelektrischer Platten, die über ein Verbindungsstück mit dem jeweiligen Rahmen verbunden sind, ausgeätzt wird. Sodann werden im folgenden Schritt Elektroden und Anschlusselektroden sowie eine gemeinsame Elektrode an allen Platten gleichzeitig angebracht. Diese Elektrode ist mit jeweils einer Anschlusselektrode (15) aller piezoelektrischen Platten über das Verbindungsstück elektrisch verbunden. Es folgt ein Schritt zur Einstellung der Schwingfrequenz, bei dem eine Erregerspannung an die gemeinsame Elektrode einerseits und an sämtliche freien Anschlusselektroden (16) andererseits angelegt wird. Schliesslich wird nach der Frequenzeinstellung das Verbindungsstück getrennt, und die Schwingkörper werden vereinzelt.</p> |
