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<p>Eine Strahlregelungsvorrichtung für einen EUV-Beleuchtungsstrahl (4) hat eine Positionssensoreinrichtung (26) und eine Steuer/Regeleinrichtung, die mit der Positionssensoreinrichtung (26) in Signalverbindung steht. Weiterhin steht mindestens eine Strahlregelkomponente, die den Strahlengang des Beleuchtungsstrahls (4) beeinflusst, mit der Steuer/Regeleinrichtung in Signalverbindung. Die Positionssensoreinrichtung (26) hat mindestens ein Beugungsgitter (27) zur Erzeugung von mindestens zwei Referenz-Teilstrahlen (23a bis 23d) aus dem Beleuchtungsstrahl (4). Weiterhin hat die Positionssensoreinrichtung (26) jeweils einen Positionssensor (25a bis 25d), der einem der Referenz-Teilstrahlen (23a bis 23d) zugeordnet ist, zur Erfassung des zugeordneten Referenz-Teilstrahls (23a bis 23d). Es resultiert eine Strahlregelungsvorrichtung, die bei einfachem Aufbau eine gut kontrollierbare Beleuchtung ermöglicht.</p> |
