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<p>Eine Messvorrichtung (10) zum Vermessen einer Abbildungsgüte eines EUV-Objektivs (30) umfasst: eine beugende Teststruktur (26), eine Messlichteinstrahleinrichtung (16), welche dazu konfiguriert ist, Messlicht (21) im EUV-Wellenlängenbereich auf die Teststruktur einzustrahlen, eine Variationseinrichtung (28) zur Variation mindestens eines bildbestimmenden Parameters einer mittels des Objektivs erfolgenden Abbildung der Teststruktur, einen Detektor (14) zum Aufzeichnen eines Bildstapels, welcher mehrere unter Einstellung unterschiedlicher bildbestimmender Parameter erzeugte Bilder umfasst, sowie eine Auswerteeinrichtung (15), welche dazu konfiguriert ist, aus dem Bildstapel die Abbildungsgüte des Objektivs zu bestimmen.</p> |
