振动镜部件

摘要

本振动镜部件包括反射光线的镜面部分、与镜面部分连接用于以能振动的方向支承镜面部分的可扭转变形的梁部分、以及具有与梁部分连接的连接部分以通过可扭转变形的梁部分来驱动镜面部分的驱动部分。使在平面图中驱动部分的连接部分的宽度小于驱动部分除了连接部分之外的部分的宽度。

主权项

一种振动镜部件，它包括：反射光线的镜面部分；可扭转变形的梁部分，其连接于所述镜面部分用于以能振动的方式支承所述镜面部分；以及能够变形的驱动部分，其具有与所述梁部分连接的连接部分以通过所述可扭转变形的梁部分来驱动所述镜面部分，其中，使在平面图中正交于所述驱动部的纵向的方向上的所述驱动部分的所述连接部分的宽度小于正交于所述驱动部的纵向的方向上的所述驱动部分除了所述连接部分之外的部分的宽度。