辅助阳极管电极电解加工方法

摘要

本发明涉及一种辅助阳极管电极电解加工方法，属电解加工技术领域。该方法包括以下过程：步骤1、制备多孔板（5）；步骤2、将工件阳极（4）、多孔板（5）、辅助阳极（6）定位，夹紧；步骤3、电源（2）正极同时与衬底夹具（7）和电子负载（3）的一端相连，电源（2）负极同时与管电极（1）相连，电子负载（3）的另一端与工件阳极（4）相连；步骤4、通入电解液，设定电子负载（3）的恒压工作模式实现压降，开启电源，工件阳极（4）的电位低于辅助阳极（6）的电位，进行管电极电解加工；步骤5、分离、清洗工件阳极（4）、多孔板（5）、辅助阳极（6）；本发明的方法及装置对提高管电极电解加工的小孔出口精度有重要意义。

主权项

一种辅助阳极管电极电解加工方法，其特征在于包括以下过程：步骤1、制备与待加工孔孔位一致的多孔板（5）；步骤2、依次将工件阳极（4）、多孔板（5）、辅助阳极（6）排布于衬底夹具（7）上，多孔板（5）上的贯穿孔正对工件阳极（4）待加工孔的出口，定位，夹紧；步骤3、电源（2）正极同时与衬底夹具（7）和电子负载（3）的一端相连，电源（2）负极同时与管电极（1）相连，电子负载（3）的另一端与工件阳极（4）相连； 步骤4、通入电解液，设定电子负载（3）的恒压工作模式实现压降，开启电源，工件阳极（4）的电位低于辅助阳极（6）的电位，进行管电极电解加工；步骤5、分离、清洗工件阳极（4）、多孔板（5）、辅助阳极（6）；上述辅助阳极（6）为不溶于中性盐溶液的惰性金属；上述多孔板（5）为带阵列贯穿孔结构的柔性绝缘薄膜或薄板。