电磁双先导真空压差阀

摘要

本发明涉及一种电磁双先导真空压差阀，它包括大气先导阀、真空先导阀、缸顶盖、膜片、缸底盖、阀杆、弹簧、顺序阀、活门和阀体等。当真空泵抽气时，大气先导阀和真空先导阀同时工作，大气先导阀关闭大气，真空通入阀体的上腔；真空先导阀关闭真空，大气通入阀体的中腔。上腔与中腔产生压差，膜片带动阀杆和活门，克服弹簧力向上打开活门，真空通道畅通。当真空泵突然断电时，大气先导阀和真空先导阀同时因断电关闭，大气先导阀打开，大气通入阀体的上腔；真空先导阀打开，真空通入阀体的中腔产生压差，膜片带动阀杆和活门向下，加上弹簧力向下，迅速关闭真空通道，防止机械泵腔中的油压入真空系统的容器污染真空容器和工件。

主权项

一种电磁双先导真空压差阀，它包括大气先导阀（1）、真空先导阀（2）、缸顶盖（3）、膜片（4）、缸底盖（5）、阀杆（6）、弹簧（7）、顺序阀（8）、活门（9）、阀体（10）、先导阀座（11）、先导阀套（12）和锥形弹簧（13），其特征在于：所述缸顶盖（3）顶部密封连接所述大气先导阀（1）和所述真空先导阀（2）；所述膜片（4）上端固紧在顶缸盖（3）与阀体（10）之间，下端固紧在阀杆（6）上端；所述膜片（4）与所述缸顶盖（3）之间形成上腔（14）；所述缸底盖（5）与所述阀体（10）中部固定连接；所述缸底盖（5）与所述阀体（10）和所述膜片（4）之间形成中腔（15）； 所述缸底盖（5）与所述阀体（10）下部形成下腔（16）；所述阀杆（6）的下部穿过所述缸底盖（5）与所述顺序阀（8）上端由螺纹固定连接；所述弹簧（7）的一端连接在缸底盖（5）上，另一端连接在活门（9）上；所述顺序阀（8）下端与活门（9）内孔滑动配合。