| 发明名称 | 弹性表面波装置 | ||
| 摘要 | 本发明实现了一种具有优异特性且制造容易的弹性表面波装置。弹性表面波装置(10)具备由铌酸锂构成的压电基板(101)。在压电基板(101)的表面上配列形成有多个槽(110)。在各槽(110)中形成有由铜构成的IDT电极(102)。IDT电极(102)由被埋入槽(110)中的第一电极层(102i)与从压电基板(101)的表面突出的第二电极层(102o)构成。第一电极层(102i)的标准化电极膜厚Di在1.0％以上12.0％以下，第二电极层(102o)的标准化电极膜厚Do在1.0％以上9.0％以下。IDT电极(102)的整体的标准化电极膜厚D在6.0％以上13.0％以下。 | ||
| 申请公布号 | CN103329436A | 申请公布日期 | 2013.09.25 |
| 申请号 | CN201280006034.0 | 申请日期 | 2012.01.17 |
| 申请人 | 株式会社村田制作所 | 发明人 | 木村哲也;门田道雄 |
| 分类号 | H03H9/145(2006.01)I;H03H9/25(2006.01)I | 主分类号 | H03H9/145(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 张宝荣 |
| 主权项 | 一种弹性表面波装置，具备：压电基板，在其表面形成有槽；IDT电极，其具有位于所述槽内的第一电极层和位于所述槽外的第二电极层，所述压电基板由铌酸锂构成，所述第一电极层以及所述第二电极层由铜构成，当将根据弹性表面波的波长而对电极膜厚进行标准化的值作为标准化电极膜厚时，所述第二电极层的标准化电极膜厚Do、所述第一电极层的标准化电极膜厚Di满足如下关系，1.0％≤Do≤9.0％并且，1.0％≤Di≤12.0％并且，6.0％≤(Do+Di)≤13.0％。 | ||
| 地址 | 日本京都府 | ||