用于磁控管溅射的磁场发生装置

摘要

用于磁控管溅射的跑道形磁场发生装置包括直线部分和角落部分，直线部分包括磁性基座、设置在其表面上的永磁体、和设置在它两侧并带有间隔的侧面永磁体；永磁体和侧面永磁体被垂直地磁化以具有相反的极性；角落部分包括非磁性基座、设置在其表面上的磁极元件、半圆形或半多边形形式的外围磁极元件、和布置在两磁极元件之间的、磁化方向与目标表面平行的多个永磁体；并且与磁极元件相对的所述多个永磁体的磁极具有与永磁体的与所述目标相对的磁极相同的极性。

主权项

一种用于磁控管溅射的跑道形磁场发生装置，其包括用于在目标表面上产生磁场的直线部分和角落部分，所述直线部分包括磁性基座、设置在所述磁性基座的表面上的中央矩形永磁体、和设置在所述磁性基座的表面上的两个侧面矩形永磁体，其中，所述侧面矩形永磁体与所述中央永磁体平行并带有间隔地设置在所述中央永磁体两侧；所述中央永磁体和所述侧面永磁体被布置成使它们的磁化方向垂直于所述目标表面并且它们的极性相反；每个所述角落部分包括非磁性基座、设置在所述非磁性基座的表面上的中央磁极元件、设置成以所述中央磁极元件为中心的半圆形或半多边形形式的外围磁极元件、和布置在所述中央磁极元件与所述外围磁极元件之间的多个永磁体；所述多个永磁体被布置成使它们的磁化方向与所述目标的表面平行并具有与所述中央磁极元件相对的相同的极性；并且与所述中央磁极元件相对的所述多个永磁体的磁极具有与面朝所述目标的所述中央永磁体的磁极相同的极性。