| 发明名称 | 基板清洁装置 | ||
| 摘要 | 一种基板清洁装置包括第一清洁部、第一清洁带和第一清洁带输送单元，所述第一清洁部压触所述第一清洁带，所述第一清洁带输送单元输送所述第一清洁带，所述第一清洁部包括第一主体与第一清洁头，所述第一主体具有第一端面，所述第一清洁头设置于所述第一端面，并具有第一平面；所述第一清洁带部分地抵靠于所述第一平面。此基板清洁装置具有较佳的清洁效果，从而能有效提升基板后续制程的良率。 | ||
| 申请公布号 | CN203209401U | 申请公布日期 | 2013.09.25 |
| 申请号 | CN201320137274.6 | 申请日期 | 2013.03.25 |
| 申请人 | 昆山龙腾光电有限公司 | 发明人 | 吴桂江;汪建国 |
| 分类号 | B08B11/04(2006.01)I | 主分类号 | B08B11/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人 | 苗燕 |
| 主权项 | 一种基板清洁装置，其包括第一清洁部、第一清洁带和第一清洁带输送单元，所述第一清洁部压触所述第一清洁带，所述第一清洁带输送单元输送所述第一清洁带，其特征在于：所述第一清洁部包括第一主体与第一清洁头，所述第一主体具有第一端面，所述第一清洁头设置于所述第一端面，并具有第一平面；所述第一清洁带部分地抵靠于所述第一平面。 | ||
| 地址 | 215301 江苏省苏州市昆山市龙腾路1号 | ||