检查填充工艺中空隙的方法

摘要

本发明提出一种检查填充工艺中空隙的方法，对待测晶圆进行多次酸槽清洗处理，并在酸槽清洗后分别目检，检查所述待测晶圆表面是否存在空洞；若存在空洞，则对空洞进行分析，从而优化填充工艺，若多次目检之后均不存在空洞则无需对填充工艺进行优化；目检能够检查待测晶圆整个表面，且其成本低，耗时短，从而能够快速而又准确的检查出浅沟槽隔离氧化硅是否存在空洞。

主权项

一种检查填充工艺中空隙的方法，包括步骤：第一步，提供待测晶圆，使用填充工艺在所述待测晶圆上形成浅沟槽隔离氧化硅；第二步，对待测晶圆的表面进行目检；第三步，判断是否存在空洞；第四步，若所述待测晶圆表面存在空洞，则分析空洞形态，对填充工艺进行优化；第五步，若所述待测晶圆表面不存在空洞，则对浅沟槽隔离氧化硅进行多次酸槽清洗，每次酸槽清洗之后均跳回第二步进行循环；第六步，若多次酸槽清洗之后目检所述待测晶圆表面不存在空洞，则无需对工艺进行优化。