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发明名称 A METHOD OF VALIDATING A CLEANING PROCESS
摘要
申请公布号 EP2641076(A1) 申请公布日期 2013.09.25
申请号 EP20110791485 申请日期 2011.11.14
申请人 JONES, IAN 发明人 JONES, IAN
分类号 G01N21/35;G01N21/94 主分类号 G01N21/35
代理机构 代理人
主权项
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