一种湿化学腐蚀用夹具

摘要

本实用新型公开了一种湿化学腐蚀用夹具，其包括：板部分以及与所述板部分相连的握持部分；所述板部分为矩形结构，在所述板部分的三条边上具有沿着相应侧边方向延伸的凸起，形成三面为凸起、一面为开口的芯片放置区域；其中，所述开口处为斜坡设计，且与所述开口相对侧的凸起上设置有固定部，所述握持部分通过所述固定部与所述板部分相连。其中，所述夹具由耐化学腐蚀材料制成。依照本实用新型的湿化学腐蚀用夹具，能够降低杂质离子的引入，同时又极大程度上降低了腐蚀工艺操作难度。

主权项

一种湿化学腐蚀用夹具，其特征在于，包括：板部分以及与所述板部分相连的握持部分；所述板部分为矩形结构，在所述板部分的三条边上具有沿着相应侧边方向延伸的凸起，形成三面为凸起、一面为开口的芯片放置区域；其中，所述开口处为斜坡设计，且与所述开口相对侧的凸起上设置有固定部，所述握持部分通过所述固定部与所述板部分相连。