发明名称 |
旋干机的治具结构 |
摘要 |
本实用新型提供一种旋干机的治具结构,包含有治具基板于上设有多个连接件,且每一连接件具有至少一沟槽,治具顶板于上设有多个开槽,治具顶板连接连接件,并且由相邻四连接件的沟槽与其所对应的开槽,构成多个容置腔体,容置腔体用以置放晶圆载具,并且搭配多个对位喷嘴,且环设于旋干机的治具结构周围,向晶圆进行喷气,同时再以多个对位喷嘴搭配连接件,将得以解决气流无法流通晶圆载具的问题,进而以增加晶圆制造的产量。 |
申请公布号 |
CN203218236U |
申请公布日期 |
2013.09.25 |
申请号 |
CN201220748308.0 |
申请日期 |
2012.12.28 |
申请人 |
禾邑实业股份有限公司 |
发明人 |
饶玉书 |
分类号 |
H01L21/673(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;F26B25/08(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/673(2006.01)I |
代理机构 |
北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 |
代理人 |
孙皓晨;雷电 |
主权项 |
一种旋干机的治具结构,用以置放多个晶圆载具,该晶圆载具于顶部及于底部各具有一开口,且每一该晶圆载具可用以置放多个晶圆,其特征在于,该旋干机的治具结构包括: 一治具基板,其上设有多个连接件,且每一该连接件具有至少一沟槽;以及 一治具顶板,其上设有多个开槽,该治具顶板连接所述连接件,并且由相邻四该连接件的该沟槽与其所对应的该开槽,构成多个容置腔体,该容置腔体用以置放该晶圆载具。 |
地址 |
中国台湾新竹县 |