晶圆透镜聚合体的制造方法及晶圆透镜聚合体

摘要

本发明涉及晶圆透镜聚合体的制造方法及晶圆透镜聚合体。为了提供一种能够可靠地粘结晶圆透镜和隔离件的晶圆透镜聚合体的制造方法，晶圆透镜聚合体备有：至少在一面上设置了多个固化性树脂光学部件的第1基板；与第1基板接合的第2基板；被设在第1基板和第2基板之间的光阑部件；通过光固化性树脂粘结剂第1基板和第2基板制造晶圆透镜聚合体，作为其制造方法，备有：在接合部分涂布光固化性树脂粘结剂的粘结剂涂布工序；形成光阑部件的工序；在光阑部件形成工序后，对在粘结剂涂布工序涂布的粘结剂照光使所述粘结剂的固化进展的光固化工序；其中，光阑部件被形成为不妨碍在光固化工序照射的光到达粘结剂。

主权项

一种晶圆透镜聚合体的制造方法，其特征在于，具有：第1光阑形成工序，在具有正面和反面的透明的第1基板的一个面形成具有多个透光部的第1光阑部件；透镜部形成工序，在形成有所述第1光阑部件的所述第1基板的正反面之中的一个面，在与所述第1光阑部件的多个透光部分别对应的位置形成用固化性树脂制成的多个透镜部；粘结剂涂布工序，涂布将形成有所述多个透镜部的所述第1基板与第2基板进行接合的由光固化性树脂构成的粘结剂；以及光固化工序，在所述粘结剂涂布工序之后，经由所述第1基板，向为了接合所述第1基板与所述第2基板而涂布的所述粘结剂照射光，使固化进展，其中，在所述第1光阑形成工序中形成的第1光阑部件被形成在不妨碍通过所述光固化工序照射的光到达所述粘结剂的位置上。