基于FPGA和偏振差分算法测量蓝宝石内应力分布的系统

摘要

一种基于FPGA和偏振差分算法测量蓝宝石内应力分布的系统，属于分析及测量控制技术领域，由激光光源、光测弹性装置、线阵CCD探测装置组成。本发明设计的一种基于FPGA和偏振差分算法测量蓝宝石内应力分布的系统，利用偏振成像结合光弹法研究蓝宝石衬底中的应力分布和特定晶面上的残余应力，并采用偏振差分算法和FPGA对蓝宝石内应力的分布做到等精度测量和计算，利用前沿的分析及测量控制技术设计，解决了传统测量方法和现在存在的光学测量方法中的技术缺陷问题，为蓝宝石衬底加工工艺优化提供指导。

主权项

一种基于FPGA和偏振差分算法测量蓝宝石内应力分布的系统包括激光光源、光测弹性装置、线阵CCD探测装置，其特征在于：所述的激光光源具有高亮度，高强度，高单色性和高相干性特性，激光器的波长可以选择1064nm；所述的光测弹性装置由起偏镜P、检查镜A和光弹性调制器PEM组成，起偏镜P的主轴方向与水平方向成45°，检查镜A垂直于水平面，两偏振镜有同步回转机构，能使其偏振周同步旋转，PEM是一光弹性调制器；所述的线阵CCD探测装置由线阵CCD探测器、FPGA模块、ADC、晶振、系统时钟、USB接口芯片、JTAG口、PROM和计算机组成。