发明名称 一种宏观检查装置
摘要 本实用新型公开了一种宏观检查装置,其包括暗室(1)和观察室(8),所述观察室(8)内设置用于放置基板的载台(4),以及安装于所述观察室(8)顶部的光源(5),所述观察室(8)与所述暗室(1)之间设置观察窗(2),所述观察窗(2)处安装抗反光透明玻璃。该宏观检查装置解决了现有用于检查色斑不均的宏观检查设备不能防止检查人员污染基板的问题。
申请公布号 CN203216700U 申请公布日期 2013.09.25
申请号 CN201320140952.4 申请日期 2013.03.26
申请人 昆山维信诺显示技术有限公司 发明人 王磊;邱勇;费国东
分类号 G01M11/02(2006.01)I 主分类号 G01M11/02(2006.01)I
代理机构 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 代理人 彭秀丽
主权项 一种宏观检查装置,其包括暗室(1)和观察室(8),所述观察室(8)内设置用于放置基板的载台(4),以及安装于所述观察室(8)顶部的光源(5),所述观察室(8)与所述暗室(1)之间设置观察窗(2),其特征在于:所述观察窗(2)处安装抗反光透明玻璃。
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