发明名称 |
有机光电子器件的薄膜封装方法 |
摘要 |
本发明涉及一种有机光电子器件的薄膜封装方法,其包括如下步骤:提供一基板(100),所述基板(100)上设有有机光电子器件(101);在所述有机光电子器件(101)周围形成环状第一无机薄膜(102);用非等离子体方法在有机光电子器件(101)上沉积薄膜(103);在所述薄膜(103)与第一无机薄膜(102)上沉积第二无机薄膜(104),并使所述第二无机薄膜(104)与第一无机薄膜(102)相接,从而将所述有机光电子器件(101)和薄膜(103)整个包覆住,实现更致密的薄膜而不危及器件,又能加强边缘的保护,且不改变原有材料体系。 |
申请公布号 |
CN103325960A |
申请公布日期 |
2013.09.25 |
申请号 |
CN201210079792.7 |
申请日期 |
2012.03.23 |
申请人 |
昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 |
发明人 |
朱少鹏;邱勇;陈红;黄秀颀;张伸福 |
分类号 |
H01L51/56(2006.01)I |
主分类号 |
H01L51/56(2006.01)I |
代理机构 |
苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 |
代理人 |
杨林洁;黄晓明 |
主权项 |
一种有机光电子器件的薄膜封装方法,其特征在于,包括如下步骤:提供一基板(100),所述基板(100)上设有有机光电子器件(101);在所述有机光电子器件(101)周围形成环状第一无机薄膜(102);用非等离子体方法在所述有机光电子器件(101)上沉积薄膜(103),使所述薄膜(103)填充至所述第一无机薄膜(102)所围绕的区域内;在所述薄膜(103)与第一无机薄膜(102)上沉积第二无机薄膜(104),并使所述第二无机薄膜(104)与第一无机薄膜(102)相接,从而将所述有机光电子器件(101)和薄膜(103)整个包覆住。 |
地址 |
215300 江苏省苏州市昆山市高新区晨丰路188号 |