蒸发镀膜设备及其抽气工艺

摘要

一种蒸发镀膜设备及其抽气工艺，其采用并联抽气的电弧钛泵+牵引分子泵+前级泵机组，取代传统的串联抽气扩散泵+罗茨泵+滑阀泵（或旋片泵）机组，其中，电弧钛泵可以快速抽除高真空的活性气体，牵引分子泵机组可以快速抽除高真空的惰性气体和中真空气体。由于电弧钛泵和牵引分子泵都是低能耗泵，加上电弧钛泵主要在精抽阶段和镀膜阶段运行，运行时间不到整个抽气时间的1/3，因此本发明可以大幅度降低抽气能耗；另外电弧钛泵+牵引分子泵+前级泵机组无油蒸汽污染，因此本发明还消除了传统蒸发镀膜设备的油蒸汽污染。

主权项

一种蒸发镀膜设备，其特征在于，包括真空镀膜室，所述真空镀膜室分别连接有电弧钛泵、牵引分子泵和粗抽泵，所述牵引分子泵与一前级泵连接，所述真空镀膜室和牵引分子泵之间设有一第一真空阀，所述牵引分子泵和前级泵之间设有一第二真空阀，所述真空镀膜室和粗抽泵之间设有一第三真空阀，所述真空镀膜室和电弧钛泵之间设有一第四真空阀；所述电弧钛泵包括钛靶以及与所述钛靶连接的阴极弧源基座，所述钛靶设于所述真空镀膜室之内，所述阴极弧源基座设于所述真空镀膜室之外，所述阴极弧源基座通过一绝缘垫与所述真空镀膜室固定连接，所述阴极弧源基座上设有一永久磁铁，所述阴极弧源基座内设有一冷却水槽，所述阴极弧源基座上开设有一与所述冷却水槽连通的进水口和一与所述冷却水槽连通的出水口，所述钛靶和/或阴极弧源基座上开设有至少一与所述真空镀膜室连通的气孔。