发明名称 生产线上空余时间减少的设备和方法
摘要 本发明描述了有效的制造自动化系统和方法。该自动化系统控制生产线上通过工具加工的物料的移动。该系统和方法包括移动物料的先占式调度。由于该先占式调度,在第一批次转换成准备好卸载状态之前确定了该下一目的地和下一将被加工的批次。这减少等待时间或者空余时间以提高工具利用率。
申请公布号 CN101595438B 申请公布日期 2013.09.25
申请号 CN200880003627.5 申请日期 2008.01.31
申请人 特许半导体制造有限公司 发明人 坦加攀·吉纳穆蒂;穆赫德阿齐兹·戚;瓮田田;林坚伟;斯蒂芬托德·马克尔
分类号 G05B19/418(2006.01)I 主分类号 G05B19/418(2006.01)I
代理机构 中国商标专利事务所有限公司 11234 代理人 李宓
主权项 一种在生产线上移动物料的自动化方法,包括:检测在第一设备中加工的第一批次的状态到准备好卸载状态的预先转换,其中该准备好卸载状态表明该第一批次已经完成加工且准备好从该第一设备卸载;在该第一批次转换为该准备好卸载状态之前,发出下一目的地命令以确定该第一批次的下一目的地,其中确定该第一批次的下一目的地包括:在该第一批次转换成该准备好卸载状态之前,获取第一批次的下一目的地清单,并基于该下一目的地清单选择下一目的地,和检测该第一批次关于该下一目的地的优先级。
地址 新加坡新加坡城