| 发明名称 | 抛光液分流装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型属于机械加工技术领域，具体地说，涉及一种抛光液分流装置。其包括总进给管道，总进给管道出口处设置分流器，分流器包括多个以总进给管道出口为进口的分流管。分流管上均匀分布分液孔。分流管靠近进口处设置流量控制阀。本实用新型的有益效果在于：1、更加精准的控制抛光液的流量及分布情况；2、有效的控制晶片厚度一致性，提高晶片平整度，提高晶片表面质量；3、设计结构简洁合理、使用方便、操作简单。4、有效的降低晶片加工过程中出现跑片现象。 | ||
| 申请公布号 | CN203210186U | 申请公布日期 | 2013.09.25 |
| 申请号 | CN201220734020.8 | 申请日期 | 2012.12.27 |
| 申请人 | 青岛嘉星晶电科技股份有限公司 | 发明人 | 王鑫 |
| 分类号 | B24B57/02(2006.01)I | 主分类号 | B24B57/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人 | 刘雁君 |
| 主权项 | 一种抛光液分流装置，包括总进给管道（1），其特征在于，所述总进给管道（1）出口处设置分流器，分流器包括多个以总进给管道（1）出口为进口的分流管（4）；所述分流管（4）上均匀分布分液孔（3）。 | ||
| 地址 | 266114 山东省青岛市高新区岙东路上马段1号 | ||