| 发明名称 | 静电卡盘 | ||
| 摘要 | 本发明公开的静电卡盘，包括：基底基材；陶瓷绝缘层，形成于所述基底基材上；电极层，形成于所述陶瓷绝缘层上来用于发生静电力；电介质层，形成于所述电极层上，具有载置衬底的表面；及凸起部，从所述电介质层的表面凸起，所述电介质层是由氧化铝构成，所述凸起部是由包括铝及钇的非晶相的氧化物构成。 | ||
| 申请公布号 | CN103325725A | 申请公布日期 | 2013.09.25 |
| 申请号 | CN201310063346.1 | 申请日期 | 2013.02.28 |
| 申请人 | 高美科株式会社 | 发明人 | 成珍一;吴致源;杨镇喆;芮庚焕 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人 | 郑青松 |
| 主权项 | 一种静电卡盘，其特征在于，包括：基底基材；陶瓷绝缘层，形成于所述基底基材上；电极层，形成于所述陶瓷绝缘层上来用于发生静电力；电介质层，形成于所述电极层上，具有载置衬底的表面；及凸起部，从所述电介质层的表面凸起，所述电介质层是由氧化铝构成，所述凸起部是由包括铝及钇的非晶相的氧化物构成。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||