金属互连线电容结构

摘要

本发明提出一种金属互连线电容结构，所述金属互连线电容结构由多个电容单元组成，若需要形成电容值不同的金属互连线电容，则只需要更改电容单元的数量即可；由于电容单元规格统一，形成工艺一致，从而能够避免形成长度不同或宽度不同的金属线，减少了工艺缺陷，降低了工艺难度，提高了操作性。

主权项

一种金属互连线电容结构，包括：多个电容单元，所述电容单元包括多层金属互连层，以及连接相邻金属互连层之间的多个金属连接线，每一所述金属连接线均连接多层所述金属互连层；所述金属互连层之间形成有介质层；所述金属互连层能够由所述介质层隔离，组成电容；多个电容单元连线，将所述电容单元连接在一起。