一种气刀装置

摘要

本实用新型公开了一种气刀装置，包括气刀本体，所述气刀本体包括相对设置的第一板体和第二板体，所述第一板体和第二板体之间形成一气体腔室，所述第一板体的表面设置有至少一个进气口，所述气刀本体一侧设置有与所述气体腔室连通的气体喷射口，所述气刀装置还包括清洁刀，所述清洁刀包括刀体，所述刀体经所述气体喷射口延伸至所述气体腔室内，并可从所述气体腔室一端至另一端来回移动。本实用新型中，通过可编程控制的清洁刀清除影响气刀吹出气流的堵塞物，使气体喷射口吹出的气流均匀，减小基板表面的干燥不良区域，进而提高产品良率。

主权项

一种气刀装置，包括气刀本体，所述气刀本体包括相对设置的第一板体和第二板体，所述第一板体和第二板体之间形成一气体腔室，所述第一板体的表面设置有至少一个进气口，所述气刀本体一侧设置有与所述气体腔室连通的气体喷射口，其特征在于：所述气刀装置还包括清洁刀，所述清洁刀包括刀体，所述刀体经所述气体喷射口延伸至所述气体腔室内，并可从所述气体腔室一端至另一端来回移动。