一种显影装置及显影方法

摘要

本发明提供了一种显影装置及显影方法，通过设置用于喷洒显影液的喷嘴；用于承载玻璃基板的机台；用于控制所述喷嘴和所述机台向一方向倾斜一角度且在一预设时间内维持所述角度的倾斜控制器，在一倾斜循环周期中，倾斜控制器控制机台和喷嘴，向机台的第一方向倾斜一预设角度，并在一预设时间内维持倾斜角度；按预设的倾斜方向顺序，倾斜控制器控制机台和喷嘴，依次向机台的其它方向倾斜所述预设角度，并在一预设时间内维持倾斜角度所述预设时间，从而可以保证玻璃各个方向接触到的显影液浓度保持一致，从而提高显影后的线宽均匀性。

主权项

一种显影装置，其特征在于，包括：用于喷洒显影液的喷嘴；用于承载玻璃基板的机台；用于控制所述喷嘴和所述机台向机台一方向倾斜一角度且在一预设时间内维持所述角度的倾斜控制器。