一种提高机械手臂运动准确性的装置及其使用方法

摘要

本发明提供一种提高机械手臂运动准确性的装置和方法，包括控制装置、机械手臂、对准腔、反应腔和反馈装置，所述控制装置根据预设位置控制所述机械手臂运动；所述机械手臂上放置晶圆，将所述晶圆运输到所述对准腔内进行对准，再将所述晶圆运输到所述反应腔内进行反应；所述反馈装置与所述控制装置相连，用于检测所述机械手臂运输所述晶圆的实际位置，产生反馈信号反馈给所述控制装置。本发明中增加了反馈装置，能够有效提高机械手臂运动的准确性，并有效防所述机械臂运动误差导致的晶圆质量问题。

主权项

一种提高机械手臂运动准确性的装置，包括控制装置、机械手臂、对准腔、反应腔，所述控制装置根据预设位置控制所述机械手臂运动；所述机械手臂用于抓取晶圆，并将所述晶圆运输到所述对准腔内进行对准，再将所述晶圆运输到所述反应腔内进行反应；其特征在于，还包括反馈装置，所述反馈装置与所述控制装置相连，晶圆被运输到对准腔后，所述反馈装置用于监测所述晶圆在所述对准腔内的实际位置，并产生反馈信号反馈给所述控制装置，所述反馈装置包括至少四个传感器和PLC电路，每个所述传感器均与所述PLC电路相连，用于探测所述晶圆的实际位置，并发送探测信号给所述PLC电路；所述PLC电路与所述控制装置相连，用于接收、处理所述探测信号，并向所述控制装置发出反馈信号，所述四个传感器连线形成正四边形，所述正四边形的中心与晶圆预设位置的中心重合，两两对角传感器的连线经过所述晶圆预设位置的中心，每个所述传感器到所述正四边形的中心的距离比晶圆的半径大2mm～3mm。